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真空壓力計,適用于在光伏、半導體及工業(yè)市場中對過程控制至關重要的精密真空測量。應用于:真空爐、真空包裝、等離子體滅菌器、冷凍干燥、真空蒸餾、石化行業(yè)、半導體行業(yè)、PECVD/ALD工藝設備、等離子體刻蝕工藝設備
真空電容壓力計使用高穩(wěn)定電容敏感元件,具備出色的抗過壓能力和優(yōu)異的長期穩(wěn)定性,適用于在光伏、半導體及工業(yè)市場中對過程控制至關重要的精密真空測量。先進制造技術與工藝,保障了應用場景中的可重復性,本壓力計工作電壓為24V DC,具有標準的(0~10)V DC模擬輸出信號,全刻度測量,可用范圍為1Torr(133Pa)至10Torr(1.33kPa)。
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